英國倫敦大學學院的研究人員近日開發(fā)出一種利用低溫紫外燈制造二氧化硅的新技術(shù),不僅可以降低計算機芯片的制造成本,而且可以降低電子工業(yè)的能耗,為生產(chǎn)綠色環(huán)保芯片打開了一扇大門。
二氧化硅是計算機芯片的重要組成部分,但它在室溫的條件下形成極為緩慢。為了加速二氧化硅的形成過程,通常需要加熱到900至1200℃,這種加工過程消耗了大量的能源。
新開發(fā)的二氧化硅生產(chǎn)技術(shù),利用一個與普通熒光燈管相類似的,長約30厘米充滿高壓氬氣的燈管,發(fā)射出126納米波長的紫外光。氧分子可在這種紫外光照射下發(fā)生斷裂,形成大量高能氧原子,進而在室溫的條件下對硅進行氧化。
倫敦大學學院負責該項研究開發(fā)的伊恩·伯依德教授認為,這種新技術(shù)可以大大降低電子工業(yè)的能耗,進而降低電子產(chǎn)品的生產(chǎn)成本,將對保護環(huán)境產(chǎn)生積極的作用。
劍橋大學半導(dǎo)體物理學研究小組的道格拉斯·保羅表示,由于制造芯片的純度要求很高,過去曾有一些研究人員取得過類似結(jié)果,但實踐證明,由于采用這些技術(shù)生產(chǎn)的產(chǎn)品缺陷密度過高,以致無法獲得實際應(yīng)用。
伯依德教授認為,在其它紫外波長的長期照射下,確實容易造成產(chǎn)品缺陷密度高。但他強調(diào),新技術(shù)所采用的波長是此前的研究從未使用過的。下一步他將在類似生產(chǎn)芯片的環(huán)境下,開展實驗,以驗證新技術(shù)的工業(yè)價值。他相信這一新技術(shù)不僅可應(yīng)用于生產(chǎn)芯片,還可以應(yīng)用于智能衣料、智能紙、電子圖書及塑料電子產(chǎn)品,并且為改變生產(chǎn)流程打開了一扇大門。
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